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LIBSOPA实现了一维线性扫描、一维深度分析和二维面扫描分析，用统计解析的方法定量表征材料的偏析度、疏松度、夹杂物分布、表面和内部缺陷分析等指标。LIBSOPA为材料成分分析 、 缺陷分析 、涂镀层分析等 提供了新的技术手段及质量判据 。
仪器特点：
非接触、微区、深度分析；兼具原位统计分布分析功能；分析空间分辨率150-400μm
仪器参数：
一.激发光源
激光器：灯泵固体激光器
输出波长：1064 nm
脉冲频率：1~10Hz可调
二.双视场成像：
全景视场：100mm*100mm
微区视场：8mm*8mm
三.移动扫描系统：移动分辨率：1μm
行程：80mm*80mm
四.剥蚀光斑 ：
软件自动调节
尺寸：150μm ~400μm
五. 分光系统：
巴邢—龙格架法，光栅焦距750 mm
高发光全息光栅，刻线为2400条/mm
谱线范围：170~800nm
分辨率：优于0.01nm
惰性气体密闭样品仓
可检测短波元素（C,P,S,B)